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发明名称 METAL LINE FORMING METHOD IN SILICON PROCESSING
摘要
申请公布号 KR100234397(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19960065524 申请日期 1996.12.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 YOON, MI-YOUNG
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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