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经营范围
发明名称
MICROWAVE PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100234813(B1)
申请公布日期
1999.12.15
申请号
KR19960045179
申请日期
1996.10.11
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人
YAMAWOOCHI, DAKESHI;AHOKI, GAZUYAKI
分类号
H01J37/32;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
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