半导体光电探测器及其制造方法

摘要

一种半导体光电探测器，因为与入射光高度耦合而具有高的量子效率，并且因为减小了PN结的面积而工作在较高频率下。在本发明的半导体光电探测器中，反射层被淀积在一个方形的波导的一对平行的表面上，而光吸收层则淀积在至少另一对平行的表面上，这对表面是其余表面中的平行表面对之一。

主权项

1．一种半导体光电探测器，它包括一个方形的光波导，其中：反射层被淀积在所述的方形波导的一对平行的表面上；并且吸收层被淀积在所述的方形波导的至少另外一对平行的表面上。