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发明名称
摘要
申请公布号 DE2146985(A1) 申请公布日期 1972.03.30
申请号 DE19712146985 申请日期 1971.09.21
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP 发明人
分类号 C23C14/04;H01L21/67;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
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