远紫外激光光刻装置

摘要

一种远紫外激光光刻装置，包括从尾部至头部均置于防震台上，尾部是由掺钕钇铝石榴石固体激光器构成的发光源，中部是倍频结构的波长转换构件，头部是光刻结构的光刻组件。它主要适用于深层微形结构，微电子以及微小元件的微细加工。具有性能稳定，造价低廉，体积小，运行费用低，操作简便的优点。

主权项

1.一种远紫外激光光刻装置，包括从尾部至头部均置于防震台(15)上，尾部是以激光器构成的发光源(1)，头部是光刻结构的光刻组件(13)，光刻组件(13)包括沿光刻激光束前进方向上依次置有限光板(9)、镜头(10)、光路转折反射镜(11)和光刻工作台(12)，其特征在于构成尾部的发光源(1)是掺钕钇铝石榴石固体激光器；在尾部与头部之间的中部置有倍频结构的波长转换构件(2)。