| 发明名称 |
FABRICATION METHOD FOR THIN FILM ACTUATED MIRROR ARRAY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100235607(B1) |
申请公布日期 |
1999.12.15 |
| 申请号 |
KR19970011057 |
申请日期 |
1997.03.28 |
| 申请人 |
DAEWOO ELECTRONICS CO.,LTD |
发明人 |
GU, MYUNG-KWON |
| 分类号 |
G02B5/08;G02B5/10;G02B7/18;G02B7/185;G02B27/18;G02F1/01;G02F1/015;(IPC1-7):G02F1/015 |
主分类号 |
G02B5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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