发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING ION FLOW IN A PLASMA
摘要
申请公布号 EP0792571(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 EP19960931869 申请日期 1996.09.18
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 发明人 BOOTH, JEAN-PAUL;BRAITHWAITE, NICHOLAS, ST JOHN
分类号 C23C14/54;C23C16/50;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/66;H05H1/00;(IPC1-7):H05H1/00 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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