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发明名称 CLEANING SYSTEM AND METHOD OF HDP CVD SYSTEM FOR CONTROLLING DIRECT CURRENT VOLTAGE
摘要
申请公布号 KR100234912(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19970001840 申请日期 1997.01.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 CHO, KUK-HYUNG;KIM, IL-HO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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