发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SUPERCONDUCTING COMPONENTS VIA LASER ABALATION FOLLOWED BY LASER MATERIAL PROCESSING
摘要
申请公布号 KR100234850(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19950026697 申请日期 1995.08.26
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 MOTO, AKIHIRO;NAGAISHI, TATSUOKI;ITOZAKI, HIDEO
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C23C14/28;C23C14/58;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/00 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
地址