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经营范围
发明名称
VACUUM EXHAUSTING SYSTEM
摘要
申请公布号
KR100235686(B1)
申请公布日期
1999.12.15
申请号
KR19930026950
申请日期
1993.12.09
申请人
APPLIED MATERIALS, INCOPORATED
发明人
JINBO, TAKESHI
分类号
F04D19/04;F04B37/16;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203
主分类号
F04D19/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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