发明名称 VACUUM EXHAUSTING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100235686(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19930026950 申请日期 1993.12.09
申请人 APPLIED MATERIALS, INCOPORATED 发明人 JINBO, TAKESHI
分类号 F04D19/04;F04B37/16;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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