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发明名称
SILICON FEA WITH FOCUSING GATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
KR100235307(B1)
申请公布日期
1999.12.15
申请号
KR19960050553
申请日期
1996.10.31
申请人
ORION ELECTRIC CO., LTD.
发明人
CHEONG, HO-RYEON
分类号
H01J1/30;H01J9/24;(IPC1-7):H01J17/49
主分类号
H01J1/30
代理机构
代理人
主权项
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