发明名称 WAFER CASSETTE LOADING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100234904(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19960033214 申请日期 1996.08.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, CHE-YOUNG;KIM, CHANG-JIN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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