发明名称 METHOD OF FORMING A DEVICE ISOLATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100235972(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19970030222 申请日期 1997.06.30
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KIM, CHEON-SOO
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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