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发明名称 CLEANING DEVICE FOR CLEANING PLANAR WORKPIECE
摘要
申请公布号 KR100235245(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19930010069 申请日期 1993.06.04
申请人 TOKYO OHKA CO., LTD. 发明人 SAGO, HIROYOSHI;FUGIYAMA, SHIGEMI;KUDO, KATSUHIKO;KUMAZAWA, HIROTSUGU
分类号 H01L21/304;B08B3/02;H01L21/027;(IPC1-7):B08B3/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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