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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 KR100236410(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19940013094 申请日期 1994.06.10
申请人 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 TAKAMORI, HIDEYUKI;SATOH, TAKAMI
分类号 B05C9/14;F27D99/00;G03F7/26;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/324;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 B05C9/14
代理机构 代理人
主权项
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