发明名称 |
CONTACT HOLE FORMING METHOD FOR SEMICONDUCTOR CHIP |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR100236089(B1) |
申请公布日期 |
1999.12.15 |
申请号 |
KR19960068667 |
申请日期 |
1996.12.20 |
申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
PARK, JAE-HYUN |
分类号 |
H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|