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发明名称 METHOD FOR TRANSFERRING A THIN FILM COMPRISING A STEP OF GENERATING INCLUSIONS
摘要
申请公布号 EP0963598(A1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 EP19980964541 申请日期 1998.12.29
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 MORICEAU, HUBERT;BRUEL, MICHEL;ASPAR, BERNARD;MALEVILLE, CHRISTOPHE
分类号 H01L21/02;H01L21/265;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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