| 发明名称 |
METHOD FOR PREVENTING ALUMINUM EXTRUSION DURING ALUMINUM PLUG FORCED FILLING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11345878(A) |
申请公布日期 |
1999.12.14 |
| 申请号 |
JP19990128571 |
申请日期 |
1999.05.10 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
ABUHA R SHINFU;BRENNAN KENNETH D;GIRISH A DIJITT |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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