| 发明名称 |
VACUUM CHAMBER MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11342437(A) |
申请公布日期 |
1999.12.14 |
| 申请号 |
JP19980164221 |
申请日期 |
1998.05.28 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
WATANABE KATSUMI |
| 分类号 |
B21D39/03;B01J3/00;B21K21/06;H01L21/02;(IPC1-7):B21D39/03 |
主分类号 |
B21D39/03 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
