TREATED-BODY TREATMENT EQUIPMENT,申请号JP19980151808-传众专利搜索

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发明名称	TREATED-BODY TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPH11345795(A)	申请公布日期	1999.12.14
申请号	JP19980151808	申请日期	1998.06.01
申请人	DAIKIN IND LTD	发明人	KI KANNAN;ONO MASAO
分类号	B08B3/10;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	B08B3/10
代理机构		代理人
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