发明名称 MASS PRODUCTION SYSTEM FOR PRECISION COATING OF SUBSTRATE TO FORM OPTICAL ELEMENT AND METHOD FOR OPERATING OPTICAL COATING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH11342354(A) 申请公布日期 1999.12.14
申请号 JP19990110773 申请日期 1999.04.19
申请人 E TEK DYNAMICS INC 发明人 ZHOU MING;ZHOU FENG QING;PAN JING-JONG
分类号 B05D7/00;B05B13/02;C23C14/30;C23C14/54;G02B1/10;(IPC1-7):B05B13/02 主分类号 B05D7/00
代理机构 代理人
主权项
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