发明名称 |
MASS PRODUCTION SYSTEM FOR PRECISION COATING OF SUBSTRATE TO FORM OPTICAL ELEMENT AND METHOD FOR OPERATING OPTICAL COATING SYSTEM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11342354(A) |
申请公布日期 |
1999.12.14 |
申请号 |
JP19990110773 |
申请日期 |
1999.04.19 |
申请人 |
E TEK DYNAMICS INC |
发明人 |
ZHOU MING;ZHOU FENG QING;PAN JING-JONG |
分类号 |
B05D7/00;B05B13/02;C23C14/30;C23C14/54;G02B1/10;(IPC1-7):B05B13/02 |
主分类号 |
B05D7/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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