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经营范围
发明名称
LIQUID-MATERIAL VAPORIZING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11345774(A)
申请公布日期
1999.12.14
申请号
JP19980153417
申请日期
1998.06.02
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
YOSHIOKA NAOMI
分类号
C23C16/44;C23C16/448;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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