| 发明名称 |
SUBSTRATE TREATING DEVICE AND SUBSTRATE TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11342356(A) |
申请公布日期 |
1999.12.14 |
| 申请号 |
JP19980165935 |
申请日期 |
1998.05.29 |
| 申请人 |
FUJITSU VLSI LTD;FUJITSU LTD;DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
SANO SEIJI;HIROE TOSHIRO;TANAKA MASATO |
| 分类号 |
B08B3/08;B05C3/02;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B05C3/02 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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