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发明名称
SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11343566(A)
申请公布日期
1999.12.14
申请号
JP19980147759
申请日期
1998.05.28
申请人
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD
发明人
HARA TAKASHI
分类号
C23C14/00;H01L21/26;(IPC1-7):C23C14/00
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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