| 发明名称 |
WORKING METHOD OF SHEET EDGE SECTION AND WORKING MACHINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11345788(A) |
申请公布日期 |
1999.12.14 |
| 申请号 |
JP19980149934 |
申请日期 |
1998.05.29 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
TANAKA KOICHI |
| 分类号 |
B24B9/00;B24B1/00;B24B9/06;B24D5/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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