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发明名称 SUBSTRATE CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11346046(A) 申请公布日期 1999.12.14
申请号 JP19990129627 申请日期 1999.05.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ONIZUKA YASUTO;TAKADA HIDEHIKO;ISHIKAWA TAKATOSHI
分类号 H05K3/26;H05K3/36;(IPC1-7):H05K3/26 主分类号 H05K3/26
代理机构 代理人
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