发明名称
摘要
申请公布号 JP2990661(B2) 申请公布日期 1999.12.13
申请号 JP19960266756 申请日期 1996.09.17
申请人 SUMITOMO KINZOKU KOGYO KK 发明人 FUJIWARA HIDEKI
分类号 C30B15/20;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/20 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
主权项
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