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发明名称
摘要
申请公布号 JP2990471(B2) 申请公布日期 1999.12.13
申请号 JP19920145712 申请日期 1992.06.05
申请人 FUJITSU KK 发明人 MYAZAKI NORIHIKO
分类号 G01B7/00;G01N27/04;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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