发明名称
摘要
申请公布号 JP2990439(B2) 申请公布日期 1999.12.13
申请号 JP19900149608 申请日期 1990.06.07
申请人 SEIKOO INSUTSURUMENTSU KK 发明人 KUDO NOBORU
分类号 H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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