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发明名称 PRODUCING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11340174(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19980164212 申请日期 1998.05.28
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 ITANI NAOKI
分类号 H01L21/31;H01L21/265;H01L21/304;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/320 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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