| 发明名称 |
COATING LIQUID FOR FORMING SILICA FILM AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11340220(A) |
申请公布日期 |
1999.12.10 |
| 申请号 |
JP19980144808 |
申请日期 |
1998.05.26 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
SHIBUYA TATSUHIKO;HAGIWARA YOSHIO |
| 分类号 |
H01L21/768;H01B3/46;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
