| 发明名称 |
SPUTTERING DEVICE AND MAGNETRON UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11340165(A) |
申请公布日期 |
1999.12.10 |
| 申请号 |
JP19980138580 |
申请日期 |
1998.05.20 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
SHIMAKAWA MAYUMI;TSUNEOKA MASATOSHI;JINBO TAKESHI |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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