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发明名称 INJECTOR WITH HIGH FREQUENCY ACCELERATION TUBE AND HIGH FREQUENCY LARGE CURRENT ION IMPLANTATION DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11337699(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19980143381 申请日期 1998.05.25
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJISAWA HIROSHI
分类号 G21K1/093;G21K5/04;H01J37/317;(IPC1-7):G21K5/04 主分类号 G21K1/093
代理机构 代理人
主权项
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