| 发明名称 |
SOI SEMICONDUCTOR AND FABRICATION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11340476(A) |
申请公布日期 |
1999.12.10 |
| 申请号 |
JP19990131836 |
申请日期 |
1999.05.12 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
HUTTNER THOMAS;WURZER HELMUT;MAHNKOPF REINHARD |
| 分类号 |
H01L21/84;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/84 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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