| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR CLEANING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11340180(A) |
申请公布日期 |
1999.12.10 |
| 申请号 |
JP19990052707 |
申请日期 |
1999.03.01 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
HASHIMOTO HIROSHI;MATSUDA YOSHITAKA;UCHIHIRA NORIO;YOSHIDA MASAAKI;SATO IKUO |
| 分类号 |
B08B1/04;B08B3/02;G02F1/13;G02F1/1333;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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