发明名称 FABRICATION OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH11340474(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19990112887 申请日期 1999.04.20
申请人 SAMSUNG DISPLAY DEVICES CO LTD 发明人 SO UEI
分类号 H01L21/336;H01L29/49;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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