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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11340243(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19980143765 申请日期 1998.05.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO SAYURI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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