| 发明名称 |
THIN-FILM MANUFACTURING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THIN-FILM PRODUCT USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11340139(A) |
申请公布日期 |
1999.12.10 |
| 申请号 |
JP19980141336 |
申请日期 |
1998.05.22 |
| 申请人 |
DAIDO HOXAN INC;MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NAKAHATA TAKUMI;YAMAMOTO KAZUMA;INAGAKI TORU;FURUKAWA TAISUKE;ONO KOICHI;KIYAMA HIROMI |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/455;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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