| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND CORRECTION METHOD FOR INTERCONNECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11340334(A) |
申请公布日期 |
1999.12.10 |
| 申请号 |
JP19980145412 |
申请日期 |
1998.05.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIMASE AKIRA;AZUMA JUNZO;HAMAMURA YUICHI;MIZUMURA MICHINOBU;NISHIMURA NORIMASA |
| 分类号 |
H01L21/822;H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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