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发明名称
PROBE CARD
摘要
申请公布号
JPH11337581(A)
申请公布日期
1999.12.10
申请号
JP19990119268
申请日期
1999.04.27
申请人
NEC CORP
发明人
SOEJIMA KOJI;SENBA NAOHARU
分类号
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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