| 发明名称 |
REMOVAL OF STANDING WAVE EXISTING IN PHOTORESIST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11340138(A) |
申请公布日期 |
1999.12.10 |
| 申请号 |
JP19990117857 |
申请日期 |
1999.04.26 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
DONALD J SAMUELS;ALAN C THOMAS |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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