发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11340456(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19980141206 申请日期 1998.05.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMASHITA YUKIHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/76;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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