发明名称 SOI SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11340465(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19980141487 申请日期 1998.05.22
申请人 SHARP CORP 发明人 AZUMA KENICHI;ALBERTO OSCAR ADAM
分类号 H01L21/762;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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