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发明名称 LIGHTING DEVICE AND ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH11340126(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19980146982 申请日期 1998.05.28
申请人 NIKON CORP 发明人 NISHI TAKECHIKA
分类号 G03F7/20;G02B3/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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