发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH11340172(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19990121807 申请日期 1999.04.28
申请人 LUCENT TECHNOL INC 发明人 ANNETTA MARGARET CLEAVERS;EASTER WILLIAM GRAHAM
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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