| 发明名称 |
MANUFACTURING FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11340214(A) |
申请公布日期 |
1999.12.10 |
| 申请号 |
JP19990073327 |
申请日期 |
1999.03.18 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
NAGANO YOSHIHISA;FUJII EIJI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
