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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11340235(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19980140697 申请日期 1998.05.22
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUMOTO AKIRA
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/322;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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