| 发明名称 |
Ablagerung des Siliziumnitrids |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69421463(D1) |
申请公布日期 |
1999.12.09 |
| 申请号 |
DE19946021463 |
申请日期 |
1994.07.04 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
HEY, PETER H.;CARLSON, DAVID |
| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/44;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/34 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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