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发明名称 Verfahren zum Erzeugen einer mehrstufigen Struktur in einem Substrat
摘要
申请公布号 DE59209764(D1) 申请公布日期 1999.12.09
申请号 DE19925009764 申请日期 1992.05.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 BARTHA, JOHANN;GRESCHNER, JOHANN;PROBST, KARL-HEINZ;SCHMID, GERHARD
分类号 H01L21/302;G03F7/00;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):G03F7/00;H01L21/033 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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