发明名称 Kanonenlinse zur Partikelstrahlerzeugung
摘要
申请公布号 DE69605053(D1) 申请公布日期 1999.12.09
申请号 DE19966005053 申请日期 1996.12.24
申请人 ADVANTEST CORP., SAITAMA 发明人 FROSIEN, JUERGEN;LANIO, STEFAN;SCHOENECKER, GERALD
分类号 H01J37/06;H01J3/02;H01J37/063;H01J37/073;H01J37/145;(IPC1-7):H01J37/063 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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